微流体致动器模块

授权

摘要

一种微流体致动器模块，包含：一第一基板，透过蚀刻制程形成多个流体出口以及多个喷口；一第一光阻层，透过显影制程形成一连通流道；一阀层，透过蚀刻制程形成多个出口阀以及多个入口阀；一第二基板，透过蚀刻制程定义多个振动区；一第二光阻层，透过滚压制程形成于该第二基板上，透过显影制程与第二基板共同形成多个振动腔室；一压电层，透过切割制程定义多个致动区；以及一电极层，具有多个上电极区以及多个下电极区。提供驱动电源驱动振动区产生往复式位移，使流体自连通流道吸入，再由喷口排出以完成流体传输。

基本信息

专利标题：

微流体致动器模块

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920415518.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-03-29

授权号：

CN210003874U

授权日：

2020-01-31

发明人：

莫皓然余荣侯张正明戴贤忠廖文雄黄启峰韩永隆李伟铭

申请人：

研能科技股份有限公司

申请人地址：

中国台湾新竹市科学园区研发二路28号1楼

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

喻学兵

优先权：

CN201920415518.X

主分类号：

F16K11/20

IPC分类号：

F16K11/20 F16K31/02 F15B13/02