微型流体致动器
授权
摘要
一种微型流体致动器，包含基板、腔室层、承载层及压电组件。基板，具有至少一进气孔。腔室层形成于该基板上，并具有第一腔室、共振薄层及第二腔室。第一腔室连接至至少一进气孔。共振薄层具有中心通孔，中心通孔连通于第一腔室与第二腔室之间。承载层形成于腔室层上，并具有固定区、振动区、至少一连接部及至少一通孔。固定区形成于腔室层上。振动区位于固定区中央，并与第二腔室对应。至少一连接部连接于固定区与振动区之间。至少一通孔形成于固定区、振动区及至少一连接部之间。压电组件形成于振动区上。
基本信息
专利标题 ：
微型流体致动器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921988051.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-18
授权号 ：
CN210949070U
授权日 ：
2020-07-07
发明人 ：
莫皓然戴贤忠方麟辉韩永隆黄启峰郭俊毅林宗义
申请人 ：
研能科技股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹市科学园区研发二路28号1楼
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
喻学兵
优先权 ：
CN201921988051.4
主分类号 ：
F04B45/047
IPC分类号 ：
F04B45/047 F04B39/10
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B45/00
具有柔性工作件的和专门适应于弹性流体的泵或泵送装置
F04B45/04
具有板状柔性件，例如隔膜
F04B45/047
具有电力驱动的泵
法律状态
2020-07-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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