适用于高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置
授权
摘要
本实用新型公开的适用于高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置，包括上下相对设置的下转盘和上转盘，下转盘的边缘位置设置有一圈中心对称的U型通孔，沿U型通孔垂直方向设置有下轴承，下轴承上连接下传动轴，每个下传动轴下端嵌套有小齿轮，小齿轮啮合在位于下转盘下方中心位置的大齿轮上；下传动轴上连接有嵌套设置在工件转盘上的上传动轴，工件转盘上设置有工件座，工件座下面设置有若干个均匀分布的自转齿轮，上转盘和下转盘之间固定有一圈支撑柱，支撑柱位于下传动轴或上传动轴的内侧，每个支撑柱上还设置有拨杆架，拨杆架一端与自转齿轮相接触。该装置成功解决了传统公转和自转装置结构复杂、高温下转架转速不平稳的技术难题。
基本信息
专利标题 ：
适用于高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920420067.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-03-29
授权号 ：
CN209873084U
授权日 ：
2019-12-31
发明人 ：
叶伟
申请人 ：
陕西理工大学
申请人地址 ：
陕西省汉中市汉台区东一环路1号
代理机构 ：
西安弘理专利事务所
代理人 ：
谈耀文
优先权 ：
CN201920420067.9
主分类号 ：
C23C14/32
IPC分类号 ：
C23C14/32 C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/32
爆炸法；蒸发及随后的气化物电离法
法律状态
2019-12-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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