一种静电多通路的束流偏转装置
授权
摘要
本实用新型提供一种静电多通路的束流偏转装置，涉及带电粒子束流输运技术领域，包括真空室、偏转电极和修正电极；所述偏转电极均匀分布于所述真空室的内部；所述修正电极设置于两所述偏转电极之间。本实用新型结构简洁、体积小巧、操作简单，偏转能量强。偏转电极采用圆柱形结构且均匀分布，对称性好，有效提升机械加工精度和使用安装精度，从而有效提高本实用新型的静电多通路的束流偏转装置的精度。
基本信息
专利标题 ：
一种静电多通路的束流偏转装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920446508.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-03
授权号 ：
CN209912833U
授权日 ：
2020-01-07
发明人 ：
郭盘林
申请人 ：
郭盘林
申请人地址 ：
上海市嘉定区嘉定镇塔城路718弄32号401室
代理机构 ：
上海申新律师事务所
代理人 ：
俞涤炯
优先权 ：
CN201920446508.2
主分类号 ：
H01J3/34
IPC分类号 ：
H01J3/34
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J3/00
通用于两种或两种以上基本类型的放电管或灯的电子光学或离子光学装置的零部件或离子阱的零部件
H01J3/26
射线或射束的偏转装置
H01J3/34
沿圆周、螺旋线或旋转径线的
法律状态
2020-01-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
