一种可延展柔性集成器件转印技术测试表征转印平台
授权
摘要
本实用新型公开了一种可延展柔性集成器件转印技术测试表征转印平台,包含通用系统和专用系统两大部分,其中通用系统包括位移与对准系统、监测系统和控制系统,专用系统包括印章和驱动系统;其中,位移与对准系统用来实现印章‑元件‑基底的对准;监测系统包括力学和光学监测系统,力学监测系统用于监测测试或转印过程中印章与元件间作用力;光学监测系统用于实时观测测试或转印过程;驱动系统用于向印章施加载荷以调控印章与元件之间的粘附作用;控制系统用于控制位移与对准系统、监测系统及驱动系统。该平台可完成转印印章粘附测试表征实验,兼具自动化转印功能。
基本信息
专利标题 :
一种可延展柔性集成器件转印技术测试表征转印平台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920464059.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-08
授权号 :
CN210894127U
授权日 :
2020-06-30
发明人 :
俞凯鑫令狐昌鸿吴佳明曾寅家宋吉舟李城隆朱昊东
申请人 :
浙江大学
申请人地址 :
浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
代理机构 :
杭州求是专利事务所有限公司
代理人 :
万尾甜
优先权 :
CN201920464059.4
主分类号 :
G01N21/84
IPC分类号 :
G01N21/84 G01L5/00 B41K3/04 B41K3/62
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
法律状态
2020-06-30 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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