管式扩散炉
授权
摘要

本实用新型涉及管式扩散炉领域并公开了一种管式扩散炉,所述管式扩散炉包括炉体(1)和炉门(2),所述炉体(1)内设有反应管(3)和用于加热所述反应管(3)的内部的主加热装置,所述管式扩散炉还包括用于加热所述反应管(3)的内部的辅助加热装置。本实用新型的管式扩散炉能够快速“回温”。

基本信息
专利标题 :
管式扩散炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920554050.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-23
授权号 :
CN209923483U
授权日 :
2020-01-10
发明人 :
田杰成陈益民
申请人 :
湖南艾科威智能装备有限公司
申请人地址 :
湖南省长沙市雨花区振华路519号聚合工业园第18幢1层103
代理机构 :
长沙心智力知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
谢如意
优先权 :
CN201920554050.2
主分类号 :
C30B31/12
IPC分类号 :
C30B31/12  C30B29/06  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B31/00
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺;其所用装置
C30B31/06
同气态扩散材料接触的
C30B31/12
反应室的加热
法律状态
2020-01-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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