一种程控三管扩散炉
授权
摘要
本实用新型公开了一种程控三管扩散炉，包括扩散炉主体，上料装置的底端安装有三个临时存放抽屉，临时存放抽屉的表面一侧安装有内缩把手，临时存放抽屉的内部顶端一侧安装有温度控制器，温度控制器的底端安装有继电器，继电器的底端安装有橡胶底座，继电器的一侧安装有半导体制冷片，半导体制冷片的顶侧安装有三个半导体存放盒，半导体存放盒外侧安设置有密封填充，半导体存放盒两端包含有固定挡板，两端固定挡板一侧表面设置有凹槽，两端固定挡板内侧安装有活动隔板。本实用新型通过在上料装置底端设置临时存放抽屉，通过在临时存放抽屉内壁上设置温控结构，使密封填充能够传导温度至半导体存放盒内。
基本信息
专利标题 ：
一种程控三管扩散炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920651931.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-08
授权号 ：
CN209843672U
授权日 ：
2019-12-24
发明人 ：
朱育平付月明孟祥飞
申请人 ：
青岛育豪微电子设备有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市城阳区流亭工业园
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920651931.6
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2019-12-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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