一种升华型基质沉积装置
授权
摘要
本公开提供了一种升华型基质沉积装置，包括可密封的升华器室；所述升华器室底部设置有基质托盘，所述基质托盘上设置有基质容纳器，所述基质容纳器用于盛放基质的同时，限制基质升华路径；所述基质容纳器底部设置有加热装置；所述升华器室还连接有基质温控模块，所述基质温控模块与第一测温模块相连，所述基质容纳器顶部连接有样品架，所述样品架与冷却装置相连。
基本信息
专利标题 ：
一种升华型基质沉积装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920554927.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-22
授权号 ：
CN209727582U
授权日 ：
2019-12-03
发明人 ：
陈相峰何启川谢含仪李慧娟赵燕芳赵梅
申请人 ：
山东省分析测试中心
申请人地址 ：
山东省济南市历下区科院路19号
代理机构 ：
济南圣达知识产权代理有限公司
代理人 ：
张庆骞
优先权 ：
CN201920554927.8
主分类号 ：
G01N1/28
IPC分类号 ：
G01N1/28 F25B21/02 H05B3/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N1/00
取样；制备测试用的样品
G01N1/28
测试用样品的制备
法律状态
2019-12-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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