一种应用于氧化扩散炉上的新型石英炉装置
授权
摘要
本实用新型提供一种应用于氧化扩散炉上的新型石英炉装置，包括装置主体、石英管、石英炉门以及石英套管，装置主体的内部设置有石英炉，石英炉的内部套有石英管，所述石英炉的右侧设置有石英炉门，所述石英炉门的左侧连接有传动导向杆，所述传动导向杆的左端连接有直线轴连接板，所述石英炉门的左侧还连接有传动连接组件，所述传动连接组件左侧连接有送料桨杆固定组件，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：操作简单，石英炉门自身可调整和石英管端面之间闭合的角度，保证密封性，增加设备使用寿命，从而降低生产成本，实用性强，适于推广。
基本信息
专利标题 ：
一种应用于氧化扩散炉上的新型石英炉装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920668580.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-10
授权号 ：
CN209989503U
授权日 ：
2020-01-24
发明人 ：
刘洋
申请人 ：
青岛华旗科技有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市城阳区流亭街道双元路西
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920668580.X
主分类号 ：
C30B31/10
IPC分类号 ：
C30B31/10
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B31/00
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺；其所用装置
C30B31/06
同气态扩散材料接触的
C30B31/10
反应室；其所用材料的选择
法律状态
2020-01-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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