一种用于晶圆电镀的多段控制电镀治具
授权
摘要
一种用于晶圆电镀的多段控制电镀治具,包括有:治具本体,其上设置有凹槽,所述凹槽的外形、尺寸于晶圆相适配,且在所述凹槽的底部设置有用于承载晶圆下表面的卡接环;盖板,所述盖板上设置有转动组件,所述转动组件包括有设置在晶圆中心处的转动轴、与晶圆抵接的转盘以及用于所述转盘转动的驱动件,所述转盘转动设置在所述转动轴上并与外部电路相连。通过采用上述技术方案,转动设置的转盘以晶圆的中心为轴不断的转动,通过转盘使原本静止的电场变为动态旋转的电场,使晶圆表面形成动态的电场,使晶圆上电场的分布更加均匀,从而提高晶圆的电镀质量。
基本信息
专利标题 :
一种用于晶圆电镀的多段控制电镀治具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920734369.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-21
授权号 :
CN210796670U
授权日 :
2020-06-19
发明人 :
黄雷何志刚
申请人 :
昆山成功环保科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山开发区澄湖路248号3号房
代理机构 :
苏州华博知识产权代理有限公司
代理人 :
黄珩
优先权 :
CN201920734369.3
主分类号 :
C25D7/12
IPC分类号 :
C25D7/12 C25D17/06
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C25
电解或电泳工艺;其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法;电铸;工件的电解法接合;所用的装置
C25D7/00
以施镀制品为特征的电镀
C25D7/12
半导体
法律状态
2020-06-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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