本实用新型公开了一种碳化硅晶片用陶瓷盘的平面度修复装置，属于陶瓷盘平整度修复技术领域。其技术方案为：包括转动加工盘、阻挡组件和研磨液喷射器；所述阻挡组件包括悬挂臂；所述悬挂臂的一端固定在支撑柱上，另一端悬在转动加工盘的上方；所述悬挂臂悬在转动加工盘上方的一端设有弧形的阻挡臂，以阻挡陶瓷盘随转动加工盘一起转动；所述阻挡臂的两端分别设有滚轮，以使陶瓷盘能够在转动加工盘上自转；所述研磨液喷射器用于向转动加工盘的盘面上喷射研磨液。本实用新型一方面可以节省人工成本，且修复的陶瓷盘平面度精度高、表面粗糙度一致性好。另一方面，可以有效地减少加工设备及工序，大大降低了成本，也提高了加工效率。