本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，具体为一种碳化硅晶片用陶瓷盘的平面度修复装置，包括底座，还包括调节支撑机构、固定旋转机构、抛光修复机构、抛光液上料机构和检测观察机构，所述调节支撑机构固定安装在底座顶部，本实用新型通过设置有抛光修复机构和固定旋转机构，将抛光头固定安装在转轴底部，将陶瓷盘固定安装在固定架顶部，再打开转台使转台带动陶瓷盘进行旋转，使陶瓷盘顶部的放置槽与抛光头一一对应，再打开推杆使推杆带动安装板向下移动，直至抛光头与陶瓷盘顶部的放置槽相接触，再打开伺服电机使伺服电机带动转轴和抛光头进行旋转，从而使抛光头对放置槽内部进行抛光修复，可以对陶瓷盘的修复更加的精准。