一种运行稳定且密封性能良好的晶体生长炉提拉头
授权
摘要
本实用新型公开了一种运行稳定且密封性能良好的晶体生长炉提拉头，密封装置（3），所述的密封装置包括第一密封盖（301）、第二密封盖（302）以及第三密封盖（303），第一密封盖（301）、第二密封盖（302）、第三密封盖（303）以及上立柱（1）形成一个将滚珠丝杠（103）和导轨（102）包围的封闭空间。本实用新型采用步进电机直接驱动精密滚珠丝杠，同时配合多导轨的限制，进一步提高了提拉动作的稳定性，在整个提拉的过程中密封盖可阻挡运行过程中灰尘的进入，解决了提拉过程中运动部件的防尘密封问题，制得的晶体质量得到了明显的改善。
基本信息
专利标题 ：
一种运行稳定且密封性能良好的晶体生长炉提拉头
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920803681.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-30
授权号 ：
CN210420253U
授权日 ：
2020-04-28
发明人 ：
刘刚
申请人 ：
成都晶九科技有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市高新区高新西区西区大道199号B1幢
代理机构 ：
成都厚为专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
夏柯双
优先权 ：
CN201920803681.3
主分类号 ：
C30B15/30
IPC分类号 ：
C30B15/30
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法
C30B15/30
转动或移动熔体或晶体的机构
法律状态
2020-04-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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