本实用新型公开了一种用于探测半导体材料X射线性能的装置，该装置包括暗箱和静电计，暗箱内设有电磁屏蔽盒，电磁屏蔽盒上方设有开口，开口上方设有X射线光源，电磁屏蔽盒内设有PCB板，PCB板上设有第一导电胶、第二导电胶、第一针脚和第二针脚，第一导电胶和第二导电胶用于分别与样品的上下表面粘合，第一导电胶与第一针脚电连接，第二导电胶与第二针脚电连接，第一针脚与静电计的高压输入口连接，第二针脚与静电计的信号输入口连接。本实用新型结构简单，操作方便，能够很好地实现静电屏蔽，减少外界环境对探测的干扰，大大降低了测试成本。同时，各部件之间连接稳定，能够准确测量到样品的弱电流，进而得到样品的X射线性能。