本实用新型公开了一种炉管及LPCVD设备，属于太阳能电池生产技术领域。LPCVD设备包括炉管。该炉管包括管体，管体内设置有进气管，进气管包括炉尾进气管和若干炉口进气管，炉尾进气管从管体的炉尾延伸至管体的中部，炉口进气管从管体的炉口延伸至管体的中部。炉口进气管以管体的中心轴线为中心呈环形均匀分布，炉口进气管的长度依次递减，炉尾进气管与最短的炉口进气管靠近。炉口进气管设置有若干炉口出气孔，炉口出气孔包括叉设置的第一孔和第二孔，第一孔的孔径大于第二孔的孔径。炉尾进气管设有若干炉尾出气孔，炉尾出气孔的孔径沿着炉尾至炉口的方向依次减小。本实用新型使得气体均匀分布于管体内，大大改善硅片之间和片内薄膜沉积的均匀性。