炉管设备
实质审查的生效
摘要
本申请涉及一种炉管设备。所述炉管设备包括：洁净腔室，内部具有基片放置装置；进气管路，包括进气管、热交换装置以及出气管，所述进气管用于向流入工作气体，所述热交换装置用于对所述进气管内流入的工作气体进行降温，所述出气管位于所述洁净腔室内，且所述出气管上设有出气孔，所述出气孔用于将所述热交换装置降温后的工作气体流入所述洁净腔室内；排气管路，用于排出所述洁净腔室内的工作气体。本申请炉管设备能够有效降低降温时间。
基本信息
专利标题 ：
炉管设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114420606A
申请号 ：
CN202210055552.7
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2022-01-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
吴建昆
申请人 ：
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
代理机构 ：
华进联合专利商标代理有限公司
代理人 ：
郭凤杰
优先权 ：
CN202210055552.7
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20220118
申请日 : 20220118
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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