炉管装卸辅助装置
实质审查的生效
摘要

本发明提供一种炉管装卸辅助装置,用于在卧式半导体设备的炉管安装至炉体或由炉体拆卸的过程中对炉管进行支撑,炉管装卸辅助装置包括:底座,用于可拆卸地连接于卧式半导体设备的上下料机构,以使上下料机构能够带动炉管装卸辅助装置整体沿竖直方向进行升降;支撑主体,设置在底座上,且能够相对于底座沿第一水平方向进行移动,支撑主体设有滚动支撑结构,滚动支撑结构用于支撑炉管,滚动支撑结构能够使炉管被推动时沿第二水平方向进行移动,且炉管与滚动支撑结构之间滚动配合,其中,第二水平方向与第一水平方向具有预设夹角。上述炉管装卸辅助装置进行炉管安装和拆卸的可操作性更强,从而降低设备装机及维护难度。

基本信息
专利标题 :
炉管装卸辅助装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114505816A
申请号 :
CN202210236830.9
公开(公告)日 :
2022-05-17
申请日 :
2022-03-10
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
王琦李建国朱旺平
申请人 :
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 :
北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 :
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 :
彭瑞欣
优先权 :
CN202210236830.9
主分类号 :
B25B27/00
IPC分类号 :
B25B27/00  B25B29/00  H01L21/22  H01L21/67  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B25
手动工具;轻便机动工具;手动器械的手柄;车间设备;机械手
B25B
不包含在其他类目中的用于紧固、连接、拆卸或夹持的工具或台式设备
B25B27/00
不包含在其他类目中的,专门适用于有变形或无变形零件或物品的装配或分离的手动工具或台式设备
法律状态
2022-06-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B25B 27/00
申请日 : 20220310
2022-05-17 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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