一种自清洁涂胶装置及自清洁涂胶装置用承片托盘
授权
摘要
本实用新型一种自清洁涂胶装置及自清洁涂胶装置用承片托盘属于微纳光学元件生产设备领域。该自清洁涂胶装置包含保护罩上盖、保护罩底座、承片托盘、清洗装置、真空吸附系统、驱动电机和转轴。承片托盘内部径向方向开设斜向上管道，用于喷射清洗液，承片托盘在旋转过程中能够对保护罩侧壁进行充分清洗；清洗装置包括清洗液供给装置和清洗液管；清洗液管与承片托盘底部相连。保护罩上盖侧壁在对应晶圆及其上方区域为圆弧形，用于改变光刻胶溅射方向，解决胶面彗尾等问题；承片托盘内部开设斜向上清洗液通道用于喷涂清洗液，全面清洗保护罩内壁；保护罩底部侧壁为圆弧斜坡形，易于排出清洗后废液，操作简单。整个装置复杂度低，成本低廉。
基本信息
专利标题 ：
一种自清洁涂胶装置及自清洁涂胶装置用承片托盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920861749.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-10
授权号 ：
CN210171733U
授权日 ：
2020-03-24
发明人 ：
金光国赵梁玉
申请人 ：
苏州麦田光电技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区宏业路111号
代理机构 ：
哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李思奇
优先权 ：
CN201920861749.3
主分类号 ：
B05B3/10
IPC分类号 ：
B05B3/10 B05B13/02 B05B15/55 B05B12/16 B05B15/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置；雾化装置；喷嘴
B05B3/00
具有活动出口部件或活动偏转部件的喷洒装置
B05B3/02
具有转动部件
B05B3/10
在转动部件的整个周围都喷射的
法律状态
2020-03-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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