本实用新型涉及硅片生产技术领域，且公开了一种带有翻转装置的硅片烘干机，包括机体，所述机体内腔的左右侧壁均固定安装有固定架，两个所述固定架之间活动安装有转轴，所述转轴上固定安装有储物盒，所述储物盒的内部固定安装有储物板，所述储物板上开设有气孔，所述储物盒的外部开设有进气孔，所述机体内腔的顶壁固定安装有风罩，所述风罩的顶部连通有贯穿并延伸至机体顶部的加热筒。该带有翻转装置的硅片烘干机，通过进气孔进入储物盒内对储物板上的物件进行烘干，同时转动的过程中通过气孔使内部气流流通，从而达到更好的烘干效果，与此同时开关板翻转到下部打开，即可实现硅片从储物板上一次性倾倒到收集座内进行收集。