一种氦质谱检漏仪气路集成模块装置

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摘要

本实用新型公开了一种氦质谱检漏仪气路集成模块装置，包括呈块状的气路集成模块，所述气路集成模块固定安装在分子泵上；所述气路集成模块内设有若干气孔，若干所述气孔分别与分子泵排气口、前级泵以及真空规管连接，其中，连接真空规管的气孔与连接前级泵的气孔相通，并且连接真空规管的气孔与连接分子泵排气口的气孔相通；所述气路集成模块内还设有若干检漏气孔，若干检漏气孔一端与检漏口连接，另一端与分子泵的检口连接。本实用新型简化了仪器内部气路，能将真空系统的气路有效的集成到一个模块上，有利于氦质谱检漏仪的小型化发展，而且该装置结构简单，易于实现，可操作性强。

基本信息

专利标题：

一种氦质谱检漏仪气路集成模块装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920919965.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-18

授权号：

CN210464825U

授权日：

2020-05-05

发明人：

朱长平黄文平陈然

申请人：

安徽皖仪科技股份有限公司

申请人地址：

安徽省合肥市高新区文曲路8号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201920919965.9

主分类号：

G01M3/20

IPC分类号：

G01M3/20