防止硅料挂边的石英坩埚
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型提供了一种防止硅料挂边的石英坩埚,属于单晶硅生产设备技术领域。包括气泡复合外层及透明内层,所述透明内层具有硅液位线,所述透明内层位于所述硅液位线以上的部分涂覆有杂质层。所述杂质层由铝、钡、钛的化合物中的至少一种组成,且所述杂质层的涂覆浓度为10μg/cm2~500μg/cm2。高温下,所述杂质层引发石英由玻璃态转化成致密结晶态,能够有效地避免硅料与石英坩埚的上边沿粘连,延长坩埚的使用寿命,减少石英坩埚变形,稳定拉晶生产过程。所述防止硅料挂边的石英坩埚制备工艺简单,只需要在硅液位线以上的部位涂设所述杂质层,有效降低了生产成本。

基本信息
专利标题 :
防止硅料挂边的石英坩埚
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920934123.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-20
授权号 :
CN210420251U
授权日 :
2020-04-28
发明人 :
王建军李常国邓红何玉鹏
申请人 :
宁夏富乐德石英材料有限公司
申请人地址 :
宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路23号
代理机构 :
宁夏合天律师事务所
代理人 :
郑重
优先权 :
CN201920934123.0
主分类号 :
C30B15/10
IPC分类号 :
C30B15/10  C30B29/06  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
C30B15/10
承载熔融液的坩埚或容器
法律状态
2021-10-12 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : C30B 15/10
变更事项 : 专利权人
变更前 : 宁夏富乐德石英材料有限公司
变更后 : 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 750021 宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路23号
变更后 : 750021 宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路23号
2020-04-28 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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