一种位移台分辨率和精度检测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种位移台分辨率和精度检测装置，包括方形的分辨率板、90度安装支架和显微镜，分辨率板上设置有纵向和横向的刻度，分辨率板通过基座固定连接在90度安装支架上，90度安装支架固定连接在位移台上，显微镜的物镜聚焦后能够对准分辨率板上的刻度，刻度的精度大于位移台精度，目镜上设置有十字叉丝。本实用新型的检测装置能够分别实现角度位移台、旋转台、平移台、升降台的分辨率和精度检测，显微镜的普及率相对激光干涉仪高很多，成本较低，分辨率板有不同精度的商品购买，测量装置的结构简单，无需特别维护；测量原理比较简单，无需专人操作，能够实现不同规格位移台的检测。
基本信息
专利标题 ：
一种位移台分辨率和精度检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920935980.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-20
授权号 ：
CN210004952U
授权日 ：
2020-01-31
发明人 ：
李胜斌陈琳李和平
申请人 ：
中国科学院地球化学研究所
申请人地址 ：
贵州省贵阳市观山湖区林城西路99号
代理机构 ：
贵阳中新专利商标事务所
代理人 ：
商小川
优先权 ：
CN201920935980.2
主分类号 ：
G01B11/00
IPC分类号 ：
G01B11/00 G01M13/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
法律状态
2020-01-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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