一种用于半导体行业高动平衡要求的旋转工作台

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种用于半导体行业高动平衡要求的旋转工作台，包括为聚乙烯材质的支撑台，支撑台包括呈饼形的台面部与呈柱形的连接部；在所述的台面部内嵌有环形的支撑部，并在所述的连接部内嵌有与支撑部连接的环柱形的加强部，所述的支撑部与加强部为一体成型；并在所述的连接部底部固定有环形的连接块，连接块与连接部之间通过粘合剂固定连接。

基本信息

专利标题：

一种用于半导体行业高动平衡要求的旋转工作台

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921004565.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-01

授权号：

CN209822616U

授权日：

2019-12-20

发明人：

蔡铁飞

申请人：

诸暨市久弘机械有限公司

申请人地址：

浙江省绍兴市诸暨市店口镇祝家坞村

代理机构：

衢州维创维邦专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

龚洋洋

优先权：

CN201921004565.1

主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/687 H05K7/20

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

H01L21/67

专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置

H01L21/683

用于支承或夹紧的

H01L21/687

使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子

法律状态

2022-06-14 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 21/687
申请日 : 20190701
授权公告日 : 20191220
终止日期 : 20210701

2020-08-21 ：

专利权质押合同登记的生效、变更及注销

专利权质押合同登记的生效IPC(主分类) : H01L 21/687
登记号 : Y2020330000552
登记生效日 : 20200729
出质人 : 诸暨市久弘机械有限公司
质权人 : 浙江诸暨农村商业银行股份有限公司店口支行
实用新型名称 : 一种用于半导体行业高动平衡要求的旋转工作台
申请日 : 20190701
授权公告日 : 20191220

2019-12-20 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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