本实用新型涉及一种可防止尾气沉积的PECVD用分子泵，包括分子泵本体、真空进气管路，在真空进气管路中设置尾气吸附机构，所述尾气吸附机构由箍圈、气路栅格和金属网组成。本实用新型未反应的尾气经过吸附装置时，在其表面继续沉积成固体镀层，从而减少到达分子泵内部的未反应尾气的含量并削弱尾气中的能量，减缓分子泵内壁及涡轮叶片上杂质镀层的沉积速度，能够在一定程度上保护分子泵，延长分子泵的使用周期。