一种化学气相沉积炉尾气处理装置
授权
摘要
本实用新型提供一种化学气相沉积炉尾气处理装置。化学气相沉积炉尾气处理装置，包括：化学气相沉积炉炉体；尾气管道，所述尾气管道设置在所述化学气相沉积炉炉体的一侧；加热机构，所述加热机构设置在所述尾气管道上。本实用新型提供的化学气相沉积炉尾气处理装置具有可以对尾气管道进行加热，进而减少废气中物体的凝结，提高管道的使用效果的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种化学气相沉积炉尾气处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021006547.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-04
授权号 ：
CN214345110U
授权日 ：
2021-10-08
发明人 ：
贺鹏博周帆
申请人 ：
湖南铠欣新材料科技有限公司
申请人地址 ：
湖南省益阳市高新区东部产业园标准化厂房E区E1栋北侧一半
代理机构 ：
长沙轩荣专利代理有限公司
代理人 ：
张勇
优先权 ：
CN202021006547.X
主分类号 ：
B01D46/10
IPC分类号 ：
B01D46/10 B01D46/00 C23C16/44
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D46/00
专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法
B01D46/10
采用具有平表面的滤板、滤片或滤垫的粒子分离器，如聚尘器
法律状态
2021-10-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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