一种化学气相沉积尾气在线回收处理装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种化学气相沉积尾气在线回收处理装置，其包括电气控制系统、供气系统、化学气相沉积炉、收尘系统、过滤器、真空泵、油雾分离器、低温冷凝回收装置和尾气处理系统。本实用新型的化学气相沉积尾气在线回收处理装置设有对尾气进行粉尘过滤的收尘系统和过滤器，一方面可对真空泵起到保护作用，另一方面可去除尾气中的粉尘，降低后续处理的负荷，提高冷却回收气体的洁净度；还设有对尾气进行冷凝回收的低温冷凝回收装置，可在线回收工艺气体，回收率高达90％以上，大大降低了尾气处理系统的处理量和负荷，减少资源浪费，降低了产品的生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种化学气相沉积尾气在线回收处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921327999.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-15
授权号 ：
CN210845584U
授权日 ：
2020-06-26
发明人 ：
于金凤秦宏硕朱刘
申请人 ：
安徽光智科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省滁州市琅琊区琅琊经济开发区内永阳路以东、南京路以西、安庆路以北、六安路以南
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
颜希文
优先权 ：
CN201921327999.5
主分类号 ：
B01D46/00
IPC分类号 ：
B01D46/00 B01D53/18 B01D53/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D46/00
专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法
法律状态
2020-06-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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