一种具有尾气处理功能的气相沉积炉
授权
摘要
本实用新型提供一种具有多层工件放置面的具有尾气处理功能的气相沉积炉，包括炉体和尾气过滤器；炉体内设有反应腔室，炉体的顶部设有与反应腔室连通的尾气排出管，尾气排出管连通尾气过滤器；尾气过滤器包括壳体和滤芯，壳体内设有容置腔，滤芯设于容置腔内；壳体的底部设有进气管，进气管连通容置腔与尾气排出管；壳体的顶部设有排气管；排气管连通容置腔。本申请实施例提供的具有尾气处理功能的气相沉积炉，通过在炉体的尾气排出管上连通尾气过滤器，使反应腔室内产生的尾气排出到尾气过滤器中。通过尾气过滤器中的滤芯对尾气进行过滤，从而能够减少尾气中含有的有害物质。
基本信息
专利标题 ：
一种具有尾气处理功能的气相沉积炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122832673.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-18
授权号 ：
CN216320584U
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
陈志军曹卫王伟康志卫
申请人 ：
湖南诺沃科技有限公司
申请人地址 ：
湖南省岳阳市汨罗市弼时镇汉山路南侧
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122832673.1
主分类号 ：
B01D46/00
IPC分类号 ：
B01D46/00 B01D46/88
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D46/00
专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法
法律状态
2022-04-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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