一种化学气相沉积炉的尾气处理装置
授权
摘要
本实用新型提供一种化学气相沉积炉的尾气处理装置，包括壳体和上盖，壳体内设有冷凝腔室，壳体的顶部设有与冷凝腔室连通的开口，上盖盖设在开口上，壳体的相对两侧分别设有与冷凝腔室连通的进气口和排气口；上盖的朝向冷凝腔室的一面上设有冷凝板，冷凝板朝冷凝腔室内延伸，且冷凝板位于进气口与排气口之间。本申请实施例的化学气相沉积炉的尾气处理装置，在上盖的朝向冷凝腔室的一面上设有冷凝板，冷凝板朝冷凝腔室内延伸，使由进气口进入到冷凝腔室内的尾气中的焦油遇到冷凝板而冷却凝液，从而附着并汇集在冷凝板上，从而去除尾气中的焦油。
基本信息
专利标题 ：
一种化学气相沉积炉的尾气处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122834054.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-18
授权号 ：
CN216320945U
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
陈志军曹卫康志卫王伟
申请人 ：
湖南诺沃科技有限公司
申请人地址 ：
湖南省岳阳市汨罗市弼时镇汉山路南侧
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122834054.6
主分类号 ：
B01D53/00
IPC分类号 ：
B01D53/00 B01D5/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
法律状态
2022-04-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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