一种用于气相沉积炉的尾气清理装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于气相沉积炉的尾气清理装置，包括底座，所述底座的顶部安装有罐体，所述罐体的顶部开设有进气口，所述罐体的一侧安装有观察窗，所述罐体的内壁顶部安装有水溶处理室，所述水溶处理室的一侧安装有尾气管，所述水溶处理室的底部安装有横板，且尾气管贯穿横板，所述横板的底部安装有水箱，所述水箱的底部安装有若干个喷淋管，且若干个喷淋管贯穿在水箱的底部，所述罐体的内壁两侧均安装有基座，所述罐体的内壁靠近基座的下端安装有过滤板一，所述底座的内部安装有过滤室，且污水管贯穿连接在过滤室的内部；本实用新型能够对相沉积炉的尾气进行有效的过滤，同时有效的降低了尾气对环境的污染。
基本信息
专利标题 ：
一种用于气相沉积炉的尾气清理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020971488.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-01
授权号 ：
CN212396285U
授权日 ：
2021-01-26
发明人 ：
杨开平黄军彭剑捷
申请人 ：
四川巴顿航空设备制造有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市彭州市丽春镇白鹤社区四组
代理机构 ：
合肥律众知识产权代理有限公司
代理人 ：
丁孝涛
优先权 ：
CN202020971488.3
主分类号 ：
B01D53/00
IPC分类号 ：
B01D53/00 B01D50/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
法律状态
2021-01-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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