基于光谱共焦的压电陶瓷d15参数测量装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种基于光谱共焦的压电陶瓷d15参数测量装置，包括光源、分光镜、色散透镜组、横向位移台、纵向位移台以及光谱信号处理模块。待测试的压电陶瓷叠堆设置于横向位移台和纵向位移台之间，从光源发出的光经过分光镜后到达色散透镜组，经色散透镜组入射到横向位移台，经过横向位移台反射回色散透镜组，经过分光镜透射返回光谱信号处理模块。本实用新型技术方案采用光学测试可以直接测量其逆压电效应，同时可以达到纳米级的测量精度，同时不需要对被测件进行任何处理。
基本信息
专利标题 ：
基于光谱共焦的压电陶瓷d15参数测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921051994.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-05
授权号 ：
CN209727045U
授权日 ：
2019-12-03
发明人 ：
杨晓峰郝凌凌陈庆生康华洲王振华
申请人 ：
季华实验室
申请人地址 ：
广东省佛山市南海区桂城南平西路13号承业大厦13层
代理机构 ：
上海上谷知识产权代理有限公司
代理人 ：
蔡继清
优先权 ：
CN201921051994.4
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02 G01J3/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2019-12-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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