一种双频热等离子体射流发生装置
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摘要
本实用新型公开了一种双频热等离子体射流发生装置，包括：装置本体，射频线圈、耐高温绝缘挡板、射频电源、射流源阴极、射流源阳极以及电弧电源；装置本体内形成有等离子体反应区；射频电源与射频线圈电连接；射频线圈用于电离放电气体；耐高温绝缘挡板设置在射频线圈与等离子体反应区之间；电弧电源分别与射流源阴极、射流源阳极电连接，射流源阴极和射流源阳极设置在等离子体反应区，射流源阴极和射流源阳极之间形成弧光放电区域，当预电离等离子体通过弧光放电区域后会产生热弧等离子体。该装置采用双频激励方式，通过对射频电源和电弧电源的组合调节，实现多场耦合控制，有助于等离子体的参数的分离控制，可以满足用户更多的需求。
基本信息
专利标题 ：
一种双频热等离子体射流发生装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921130481.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-18
授权号 ：
CN210899785U
授权日 ：
2020-06-30
发明人 ：
詹霞高建波马艳玲张书彦贡志锋林木楠
申请人 ：
东莞材料基因高等理工研究院;广东书彦材料基因创新科技有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区礼宾路1号松山湖控股大厦9楼
代理机构 ：
广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
汤喜友
优先权 ：
CN201921130481.2
主分类号 ：
H05H1/46
IPC分类号 ：
H05H1/46 H05K7/20
法律状态
2020-06-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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