高效画胶装片装置
授权
摘要
本实用新型提供一种高效画胶装片装置，其包括：第一传送机构、第一画胶机构、第二画胶机构、装片台、第二传送机构、校正台、第三传送机构、晶圆台。本实用新型的高效画胶装片装置具有两个独立设置画胶机构，且两个画胶机构能够按照各自的画胶方式进行画胶，如此能够快速的完成一块基板的画胶，为后续晶圆片与基板的贴装提供了保障。
基本信息
专利标题 ：
高效画胶装片装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921139190.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-19
授权号 ：
CN209929271U
授权日 ：
2020-01-10
发明人 ：
王敕尚明伟
申请人 ：
苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市常熟经济技术开发区四海路11号科创园5-102
代理机构 ：
苏州国诚专利代理有限公司
代理人 ：
杨淑霞
优先权 ：
CN201921139190.X
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-01-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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