一种气流流量控制装置及离子迁移谱仪
授权
摘要

本实用新型涉及一种气流流量控制装置及离子迁移谱仪,其中气流流量控制装置包括送气装置、分流装置和第一控流组件,分流装置具有第一内腔和与第一内腔连通的第一进气口及第一出气口,通过分流装置的设置将送气装置送出的一路气流实现分流分成多路气流,供不同的用气设备或者用气设备的不同进气端口进气用;第一控流组件密封连接在第一内腔中且位于第一进气口和第一出气口之间,第一控流组件上开设有多个第一控流孔,多个第一控流孔的孔径不同,由于不同的控流孔在特定的压力下其对应的流量不同,通过第一控流孔的设置可以实现多路气流的流量调节控制;相比于现有的质量流量控制器和针阀、多通阀等,其结构简单,而且流量调节精确,调节操作方便。

基本信息
专利标题 :
一种气流流量控制装置及离子迁移谱仪
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921185275.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-25
授权号 :
CN210626393U
授权日 :
2020-05-26
发明人 :
卢文成王向阳郭光剑李灵锋常清李鹏汪小知
申请人 :
苏州微木智能系统有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市高新区锦峰路8号5号楼2楼西侧及3楼整层
代理机构 :
北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人 :
张乐乐
优先权 :
CN201921185275.1
主分类号 :
G01N27/62
IPC分类号 :
G01N27/62  H01J49/04  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/62
通过测试气体的电离,例如气溶胶;通过测试放电,例如阴极发射
法律状态
2020-05-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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