一种用于单面制绒的分片吸盘
授权
摘要
本实用新型涉及一种用于单面制绒的分片吸盘，包括吸盘基体，吸盘基体内部设有抽气管道；抽气管道外部连接有负压环；负压环上设有多个抽气孔；抽气管道连接有吸盘进气口；吸盘进气口另一端连接有真空装置；真空装置与吸盘进气口采用气管相连接。该吸盘采用负压环设计，气体由抽气孔抽出，经过抽气管道排出。抽气孔分三层，以同心圆形状排列，每层抽气孔形成独立的负压环，三层负压环高度逐渐降低，形成大负压环，这种设计一方面增强吸力，另一方面不会与硅片直接接触，保护制绒后的绒面不被破坏。该实用新型能有效地针对用于改善单面制绒工艺中分片问题，降低分片过程中碎片率，减少对硅片绒面造成的损伤，降低制绒成本，提升制绒效果。
基本信息
专利标题 ：
一种用于单面制绒的分片吸盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921193001.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-26
授权号 ：
CN210443539U
授权日 ：
2020-05-01
发明人 ：
孙鹏张良董文成
申请人 ：
镇江仁德新能源科技有限公司;镇江荣德新能源科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省镇江市扬中市经济开发区港隆路998号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921193001.7
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2020-05-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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