一种太赫兹波衰减全反射成像的分辨率补偿装置，太赫兹波经斩波器、反射镜、分光镜、非球面透镜聚焦入射到全反射棱镜中，通过计算机系统控制一维扫描平台带动光程补偿棱镜组中的一个直角三角形棱镜和全反射棱镜分别沿z轴和y轴移动，携带样品信息的太赫兹波经太赫兹探测器探测，实现待测样品的成像。当太赫兹波扫描样本的不同位置时，入射到全反射棱镜底面上的光程相同，即实现了太赫兹波焦点始终位于全反射棱镜的底面上，本实用新型克服了扫描成像焦点偏移导致分辨率变化的现象，实现高质量的成像，且具有稳定性高、易于光线收集、成像灵敏度高、无干涉条纹、对样品无破坏性的特点，在生命科学、医疗诊断等方面有着重要的应用潜力。