一种陶瓷真空镀铜动力基材摆放架

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摘要

本实用新型公开了一种陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，包括真空舱室，所述真空舱室顶部和底部设置有外仓；所述外仓内侧安装有链条驱动盘；所述链条驱动盘其驱动轴活动嵌入到真空舱室；底部得分所述链条驱动盘通过动力机构驱动；所述外仓远离真空舱室一侧通过密封板密封；两正对所述驱动轴之间可拆卸安装有基材摆放架；所述链条驱动盘包括凹型的圆盘；所述圆盘顶部设置有封板；所述圆盘内侧间隔排列有一环从动链盘；所述从动链盘之间设置有一驱动链盘；本实用新型的陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，陶瓷基材外部装载后送入到真空舱室内进行圆周运转镀膜，镀膜装载简单，转向和转动频率可选择独立的链条驱动盘进行控制。

基本信息

专利标题：

一种陶瓷真空镀铜动力基材摆放架

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921246168.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-03

授权号：

CN210596247U

授权日：

2020-05-22

发明人：

乔利杰宋述兵杨会生庞晓露王瑞俊郑宝林

申请人：

山东司莱美克新材料科技有限公司

申请人地址：

山东省淄博市桓台县唐山镇工业路188号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921246168.5

主分类号：

C23C14/50

IPC分类号：

C23C14/50 C23C14/18