一种插片机吸盘传输装置
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摘要

本实用新型涉及硅片生产设备技术领域内一种插片机吸盘传输装置,包括竖直设置于插片机水槽中的同步带,同步带的上侧和下侧传动连接有同步带轮,同步带的内侧滑动贴设有吸盘盒,吸盘盒内设有容水腔,吸盘盒与同步带贴合的表面设有凸条,同步带表面滑动配合设有凹槽,凸条和凹槽的长度方向与同步带的传动方向相同,吸盘盒对应的凸条长度方向上设有吸水孔,吸水孔对应的同步带的凹槽上间隔排布有若干组通水孔,吸盘盒相异于同步带贴合面的部位设有与吸盘盒内部连通的抽吸口,抽吸口用于与抽水泵连接。本实用新型的插片机吸盘传输装置,通过改变吸盘传输装置分片的方向,使硅片沿垂直状态分片,以克服分片时容易叠片和粘连的问题,减少碎片率。

基本信息
专利标题 :
一种插片机吸盘传输装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921268839.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-07
授权号 :
CN210973009U
授权日 :
2020-07-10
发明人 :
李洪飞
申请人 :
扬州续笙新能源科技有限公司
申请人地址 :
江苏省扬州市宝应县氾水镇工业集中区跃胜路
代理机构 :
南京苏科专利代理有限责任公司
代理人 :
徐素柏
优先权 :
CN201921268839.8
主分类号 :
B65G49/07
IPC分类号 :
B65G49/07  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置,例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G49/00
其他类目不包含的以其要求特定目的为特点的输送系统
B65G49/05
用于易碎或易损的物料或物件
B65G49/07
用于半导体晶片的
法律状态
2020-07-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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