一种插片机防碎片传输装置
授权
摘要
本实用新型涉及硅片生产设备技术领域内一种插片机防碎片传输装置，包括弧形过渡输送带和水平输送带，所述水平输送带通过主动带轮和从动带轮传动连接，所述水平输送带与弧形过渡输送带衔接处的下侧设有气流缓冲装置，所述气流缓冲装置设有若干垂直向上喷射气流的喷气孔。本实用新型的插片机防碎片传输装置，在硅片从倾斜转至水平的过渡衔接处的水平输送带的下侧设置气流缓装置，从硅片的下侧垂直向上对准硅片吹射气流，对下落的硅片进行气流缓冲，使硅片平缓下落至水平输送带，有效避免硅片破裂。
基本信息
专利标题 ：
一种插片机防碎片传输装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921268850.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-07
授权号 ：
CN210628264U
授权日 ：
2020-05-26
发明人 ：
李洪飞
申请人 ：
扬州续笙新能源科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省扬州市宝应县氾水镇工业集中区跃胜路
代理机构 ：
南京苏科专利代理有限责任公司
代理人 ：
徐素柏
优先权 ：
CN201921268850.4
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-05-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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