本实用新型提供一种扩散退火碎片检测装置，包括用以感应吸盘存在情况的吸盘感应器、用以感应顶齿存在情况的顶齿感应器以及用以感应散落于顶齿内部的碎片存在情况的碎片感应器，吸盘感应器、顶齿感应器和碎片感应器均设置于插片机机架上；还包括与吸盘感应器、碎片感应器、顶齿感应器及PLC相连的控制装置，当吸盘感应器未检测到吸盘存在且碎片感应器检测到碎片存在时，或者当顶齿感应器未检测到顶齿存在且碎片感应器检测到碎片存在时，控制装置能够控制PLC停止运行，由此避免了批量碎情况发生。本实用新型还提供一种包括上述扩散退火碎片检测装置的扩散插片机，具有上述技术效果。