一种电注入机台
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型公开了一种电注入机台,其属于光伏技术领域;所述电注入机台内设有用于放置硅片的工作腔,所述电注入机台还包括:上加热装置,设于所述工作腔的顶部;下加热装置,设于所述工作腔的底部;冷却风进气装置,设于所述电注入机台的侧面,用于对所述工作腔进行冷却。本实用新型提出的电注入机台,在工作腔的顶部设置上加热装置,在工作腔的底部设置下加热装置,当硅片叠置在工作腔后,上加热装置和下加热装置同时对硅片进行加热,加热速度快;在电注入机台的侧面设置冷却风进气装置,由冷却风进气装置输送冷却气进入到工作腔内,对工作腔进行降温,防止因长时间工作后工作腔内的温度过高,影响电注入机台的正常工作。

基本信息
专利标题 :
一种电注入机台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921353577.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-20
授权号 :
CN210073901U
授权日 :
2020-02-14
发明人 :
韩少鹏胥洋石伟罗本前侯玉黄浩杨超潘励刚邢国强
申请人 :
苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市高新区鹿山路199号
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
胡彬
优先权 :
CN201921353577.5
主分类号 :
H01L31/18
IPC分类号 :
H01L31/18  H01L21/67  
法律状态
2021-02-23 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 31/18
变更事项 : 专利权人
变更前 : 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
变更后 : 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
变更后 : 215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 阿特斯阳光电力集团有限公司
变更后 : 阿特斯阳光电力集团股份有限公司
2020-02-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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