一种离子氮化炉组合底座
授权
摘要

本实用新型公开了一种离子氮化炉组合底座,包括底座,所述底座下方的中心位置处设置有延伸至底座内部的真空泵接口,且底座上方位于真空泵接口的一侧安装有贯穿底座的阴极,所述阴极远离真空泵接口的一侧设置有与底座底部连接的阳极,且阳极远离阴极的一侧设置有与底座底部连接的冷却水进水口,所述底座底部远离冷却水进水口的一侧设置有冷却水出水口。本实用新型通过在底座上方安装隔热屏进行隔热,且配合底座的下方冷却循环水仅对密封圈进行冷却,进而使冷却面积大幅度减少,从而减少了热量的损失,减少了成本,且通过底层工件使升温速度加快,并使被加工的产品温度均匀性大幅度提高,从而很好的解决了传统冷壁式氮化炉底座的缺陷。

基本信息
专利标题 :
一种离子氮化炉组合底座
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921364942.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-22
授权号 :
CN211227298U
授权日 :
2020-08-11
发明人 :
李占岭高洁潘修河
申请人 :
江苏苏德涂层有限公司
申请人地址 :
江苏省常州市新北区西夏墅镇微山湖路38号
代理机构 :
北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王闯
优先权 :
CN201921364942.2
主分类号 :
C23C14/06
IPC分类号 :
C23C14/06  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
法律状态
2020-08-11 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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