一种适用于高频等离子体焰炬的冷却气体分配结构

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摘要

本实用新型公共了一种适用于高频等离子体焰炬的冷却气体分配结构，料气管的出气口伸到所述内石英管的下端，上气管a和上气管b穿过所述上铜头的侧壁与所述内石英管接触，边轴向气管a和边轴向气管b穿过所述下铜头的侧壁与所述内石英管接触，下气管a和下气管b穿过所述下铜头的侧壁与所述外石英管接触，边切向气管a和边切向气管b穿过所述下铜头的侧壁与所述内石英管接触，边切向气管a和边切向气管b分别与所述内石英管的管壁相切。冷却气的进气量通过气体流量计调节控制，既能实现石英管内壁的冷却，能迅速降低等离子体焰横向温度，石英管不至于被等离子体焰高温激炸的目的，又能保证等离子体焰炬不被气流冲击扰动。

基本信息

专利标题：

一种适用于高频等离子体焰炬的冷却气体分配结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921387705.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-26

授权号：

CN210381424U

授权日：

2020-04-21

发明人：

高跃生王翔杨军沈志平袁江文代礼彬欧阳昌伟聂矗夏锐倪凯凯梁烛秦欣

申请人：

贵州正业龙腾新材料开发有限公司

申请人地址：

贵州省贵阳市南明区龙洞堡电子商务港太升国际A栋2单元6层13号

代理机构：

贵阳中新专利商标事务所

代理人：

商小川

优先权：

CN201921387705.8

主分类号：

H05H1/28

IPC分类号：

H05H1/28