本申请提供一种气体分配装置及等离子体设备，气体分配装置包括：气体分布板、上电极和位于气体分布板和上电极之间的连接组件；连接组件包括环形密封件和连接件；连接件穿过环形密封件和气体分布板上的安装孔，嵌入气体分布板中；在环形密封件的第一端面和第二端面上分别相对地设有环形的第一凸起部和第二凸起部，第一凸起部与连接件紧密配合，第二凸起部与气体分布板紧密配合，以形成包围安装孔的第一密封空间；在第二端面的内环处还设有环形的第三凸起部，第三凸起部与安装孔的内壁紧密配合以形成包围安装孔的第二密封空间；第一密封空间包围第二密封空间。通过第二密封空间和第一密封空间对安装孔进行双重密封，从而有效提高了密封可靠性。