基板蚀刻机的电控箱散热装置

授权

摘要

本实用新型的基板蚀刻机的电控箱散热装置，其包括有一电控箱及安装在电控箱上的一空调降温组，该电控箱箱体上设有上风口及下风口，该空调降温组具有中空的机体及安装在机体内的热交换单元，热交换单元的两端分别与一冷水机连接，又机体相对于上风口及下风口设有相互连通的进风口及出风口，电控箱内的温热气流与该热交换单元进行热交换作业后，将气流再导内电控箱箱体内，以达到可简便且有效的控制调节电控箱的温度，再者电控箱内的电子零组件不会被充斥在厂房内具有高腐蚀性的水气所破坏。

基本信息

专利标题：

基板蚀刻机的电控箱散热装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921390660.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-26

授权号：

CN210470140U

授权日：

2020-05-05

发明人：

乔鸿培苏胜義巫坤星吕理榕钟添达苏绍君

申请人：

扬博科技股份有限公司

申请人地址：

中国台湾台北市

代理机构：

北京寰华知识产权代理有限公司

代理人：

何尤玉

优先权：

CN201921390660.X

主分类号：

H05K7/20

IPC分类号：

H05K7/20