一种射频电源

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型公开了一种射频电源，该射频电源中，在对功率调整及阻抗匹配模块输出的射频交流电进行采集时，充分考虑到环境温度对采样的影响，从而设置了恒温采样电路，恒温采样电路将其所处的环境温度保持在预设温度范围内，并采集射频交流电，以便后续根据该射频交流电调整输出至负载的射频交流电，从而尽量减小甚至避免了环境温度对射频交流电的影响，提高了射频交流电的采集精度，也提高了射频电源的输出电源的精度，减少了射频电源的输出电源的调整时间。

基本信息

专利标题：

一种射频电源

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921495212.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-06

授权号：

CN210380678U

授权日：

2020-04-21

发明人：

乐卫平张桂东

申请人：

深圳市百世达半导体设备有限公司;深圳市恒运昌真空技术有限公司

申请人地址：

广东省深圳市宝安区西乡街道劳动社区西乡大道和宝源路交汇处中央大道D座13D

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

高勇

优先权：

CN201921495212.6

主分类号：

H02M7/04

IPC分类号：

H02M7/04 H02M3/335 H02M1/12 G01K7/00 G01K13/00

法律状态

2021-12-31 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移IPC(主分类) : H02M 7/04
登记生效日 : 20211217
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 深圳市百世达半导体设备有限公司
变更后权利人 : 深圳市恒运昌真空技术有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518102 广东省深圳市宝安区西乡街道劳动社区西乡大道和宝源路交汇处中央大道D座13D
变更后权利人 : 518000 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101，201，301
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 深圳市恒运昌真空技术有限公司

2020-04-21 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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