本申请提供一种射频电源，包括电源本体以及与电源本体输出端连接的检测模块，检测模块包括与电源本体连接的输出电缆以及与输出电缆连接的电流检测元件和电压检测元件；电流检测元件用于检测输出电缆的电流；电压检测元件，于检测输出电缆的电压。该射频电源通过箝在电源本体上设置具有电流检测元件和电压检测元件实现合并了电流和电压检测，使得检测的电流和电压无延时，采集数据时间的一致性上得到保证，确保得到射频电源输出功率的精度和可靠性。检测模块电路简化，使得该射频电源模块小型化，解决现有电源的电流和电压分别采用两个对应传感器采集，存在采集的电压、电流数据响应时间不同，得到电源输出功率值的精度低和可靠性差的问题。