一种光刻机导正结构
授权
摘要
本实用新型公开一种光刻机导正结构，包括：转换机构，所述转换机构包括：托板和第一气缸，所述托板具备X轴方向和Y轴方向，所述第一气缸与所述托板传动连接；第一输送机构，所述第一输送机构包括：一第一电机和若干滚轮轴，若干所述滚轮轴分别与所述第一电机传动连接，所述托板供若干所述滚轮轴的上表面穿过；第二输送机构，所述第二输送机构包括：一第二气缸、一第二电机和若干输送组件，所述第二气缸分别与若干所述输送组件传动连接，所述托板供若干所述输送组件的上表面穿过，所述第二电机分别与若干所述输送组件传动连接。本实用新型能够保证光刻的对准精度，提高产品的合格率。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻机导正结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921523378.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-12
授权号 ：
CN211197731U
授权日 ：
2020-08-07
发明人 ：
赵晓波王永和黄微益钱坤
申请人 ：
上海信耀电子有限公司
申请人地址 ：
上海市嘉定区恒谐路50号
代理机构 ：
上海申新律师事务所
代理人 ：
沈栋栋
优先权 ：
CN201921523378.4
主分类号 ：
B65G47/24
IPC分类号 ：
B65G47/24 G03F7/20
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置；使用这些装置的方法
B65G47/22
在用输送机输送过程中影响物件相对位置或状态的装置
B65G47/24
将物件定向
法律状态
2020-08-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
