一种用于散射实验站的真空腔体组件
授权
摘要
本实用新型提供一种用于散射实验站的真空腔体组件，包括：真空腔体本体；连接于真空腔体本体前端的波纹管；设置于真空腔体本体后端的透光窗口，透光窗口处固定有聚酰亚胺薄膜；设置于底部的两套二维运动平台；分别通过一连接装置与二维运动平台连接的第一、第二束流阻挡器；以及分别安装于第一、第二束流阻挡器上的用于测量光强的光电二极管；其中，第一、第二束流阻挡器可同时运动或分别运动，同时满足SAXS、GISAXS以及低分辨XRR三种实验要求。该真空腔体组件可实现样品的大q值测量，并且结构简单、易于维护，束流阻挡器可灵活拆卸，满足不同用户不同实验要求；同时为实验站GISAXS实验自动化对样提供硬件条件。
基本信息
专利标题 ：
一种用于散射实验站的真空腔体组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921694098.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-11
授权号 ：
CN211043200U
授权日 ：
2020-07-17
发明人 ：
洪春霞王玉柱滑文强周平李秀宏边风刚
申请人 ：
中国科学院上海应用物理研究所
申请人地址 ：
上海市嘉定区嘉罗公路2019号
代理机构 ：
上海智信专利代理有限公司
代理人 ：
余永莉
优先权 ：
CN201921694098.X
主分类号 ：
G01N23/20008
IPC分类号 ：
G01N23/20008 G01N23/201 G01N23/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料，例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/20
利用材料辐射的衍射，例如，用于测试晶体结构；利用材料辐射的散射，例如测试非晶材料；利用材料辐射的反射
G01N23/20008
分析仪零件结构，例如其特征在于X射线源、检测器或光学系统；其配件；样品制备
法律状态
2020-07-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
