一种石墨舟卡点打磨装置
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摘要

本实用新型公开了一种石墨舟卡点打磨装置,属于打磨技术领域。该装置石墨舟卡点打磨装置,包括动力组件和砂轮,所述砂轮通过连接件锁紧固定在动力组件的输出轴上,所述砂轮包括打磨盘和设在打磨盘上的凸台,所述凸台与打磨盘一体制造成型,所述打磨盘上同轴设有凹槽,所述砂轮上同轴设有通孔,所述砂轮的磨料粒径为2.5~5μm,所述打磨盘的厚度为0.15~0.3mm。本实用新型中将砂轮安装在角磨机或电机的输出轴上,由于打磨盘的厚度是根据卡点上U形卡槽的宽度确定而来的,所以可以方便、高效地通过砂轮除去卡点上U形卡槽内的氮化硅镀层,以保证硅片与卡点接触良好,减少镀膜色差和降低硅片与卡点接触位置出现烧熔的风险。

基本信息
专利标题 :
一种石墨舟卡点打磨装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921834433.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-29
授权号 :
CN211465898U
授权日 :
2020-09-11
发明人 :
李平黄海深杨秀德吴波
申请人 :
遵义师范学院
申请人地址 :
贵州省遵义市汇川区上海路830号
代理机构 :
贵州派腾知识产权代理有限公司
代理人 :
周黎亚
优先权 :
CN201921834433.1
主分类号 :
B24B27/033
IPC分类号 :
B24B27/033  B24B41/04  B24B47/12  B24D7/00  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B27/00
其他磨床或装置
B24B27/033
用于清理目的的磨削表面,如清除氧化皮或磨掉表面裂纹
法律状态
2020-09-11 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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