石墨舟
授权
摘要
一种石墨舟，包括若干在横向方向上平行延伸且在纵向方向上依次交错分布的第一石墨舟片和第二石墨舟片。所述第一石墨舟片于横向方向上的左右两端部处套装有第一舟脚石墨块，所述第二石墨舟片于横向方向上的左右两端部处套装有第二舟脚石墨块。所述第一舟脚石墨块上设有若干第一通孔，所述第二舟脚石墨块上设有若干第二通孔。本实用新型在舟脚石墨块上开孔后，不会阻挡特气流动，特气可以更顺畅的流入石墨舟片，从而极大地提高了镀膜均匀性。
基本信息
专利标题 ：
石墨舟
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020151820.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-04
授权号 ：
CN211350599U
授权日 ：
2020-08-25
发明人 ：
张鹤姚良王亨张良俊
申请人 ：
江苏微导纳米科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区新硕路9-6-2
代理机构 ：
苏州佳博知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
罗宏伟
优先权 ：
CN202020151820.1
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 H01L31/18 C23C16/458
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-08-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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